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台球直播吧:新松半导体请求根据多类型传感器协同的AWC校准体系专利对重复性精度较低的机械手能够完成转移补偿批改方位到达高精度作用

时间:2025-12-17 07:55:42 作者: 台球直播吧

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  国家知识产权局信息数据显现,沈阳新松半导体设备有限公司请求一项名为“一种根据多类型传感器协同作业的AWC校准体系”的专利,公开号CN121018520A,请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现,本发明供给一种根据多类型传感器协同作业的AWC校准体系,包含在晶圆转移的各工位之间设置激光传感器、高速图画捕捉传感器,收集触发信号和晶圆图画,经过上位机辨认晶圆移动轨道并输出操控信号给机械手,使其承托晶圆进行轨道纠偏。本发明经过操控完成对晶圆、机械手的轨道、以及方位做多点监控,并经过监控成果的反应完成补偿、批改运动发生的误差,并对重复性精度较低的机械手能够完成转移补偿、批改方位到达高精度的作用。

  天眼查资料显现,沈阳新松半导体设备有限公司,成立于2023年,坐落沈阳市,是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。经过天眼查大数据分析,沈阳新松半导体设备有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目1次,产业线条。

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